Ez az első mozgó alkatrészt tartalmazó
szilícium eszköz, amely
protonnyalábos mikromegmunkálással (PBW)
és szelektív porózus szilícium (PorSi) marással
készült.




Ez a mikroturbina protonnyalábos mikromegmunkálással
és szelektív porózus szilícium marással készült
az MTA Atommagkutató Intézete (ATOMKI) és a
Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintéze (MFA)
együttműködésében.
Kapcsolat: Rajta István (rajta at atomki.hu)